MEMS加速度振动传感器原理

MEMS加速度振动传感器原理MEMS是micro electro mechanical system微电子机械系统的缩写，这种微电子制造技术适用于任何传感器的制造。这些技术，通常在硅晶体上蚀刻，创造微观尺寸的机械传感结构。当与微电路耦合时，MEMS传感器可以用于测量例如加速度之类的物理参数。不同于ICP®传感器，MEMS传感器测量频率低至0Hz(静态或者DC加速度)。PCB®制造两种类型的MEMS加速度计，可变电容式和压阻式。可变电容(VC)MEMS加速度计主要是低幅值，高灵敏度设备，用于结构监测和恒定加速度的测量。压阻(PR)MEMS加速度计主要是高量程，低灵敏度设备，用于冲击和爆炸应用。 工业加速度传感器可以使用耐腐蚀和耐化学腐蚀的不锈钢进行构造。在有害化学物质的环境中，传感器考虑使用聚四氟乙烯耐腐蚀的连接电缆。强烈建议检查任何可疑化学物质的化学兼容性图表。对于能接触到切屑的环境，一体铠装电缆能提供良好的保护。